NRL60A/90A/180A干式真空泵

簡要描述：● NRL系列在低溫領(lǐng)域下的均熱化。除PVD工藝外，尤其適用于希望提高流量，縮短排氣時間的重要工藝腔體的排氣。
● 低噪音、低振動
● 優(yōu)良的耐腐蝕性

產(chǎn)品型號： NRL60A/90A/180A

所屬分類：真空泵

更新時間：2024-12-07

廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家

詳情介紹

特長

● NRL系列在低溫領(lǐng)域下的均熱化。除PVD工藝外，尤其適用于希望提高流量，縮短排氣時間的重要工藝腔體的排氣。

● 低噪音、低振動

● 優(yōu)良的耐腐蝕性

標(biāo)準(zhǔn)零部件采用高硬度并經(jīng)過優(yōu)異的防腐蝕特殊表面處理，降低對腐蝕性氣體排氣時泵體內(nèi)部的腐蝕程度。

● 選購件

可選購消音器、冷卻水流量開關(guān)、氮氣流量開關(guān)、泵溫傳感器。

用途

◆ 活性氣體（CVD、刻蝕等）

◆ 排出非活性氣體（濺射鍍膜、蒸氣鍍膜、熱處理、液晶注入等）

◆ 用于產(chǎn)生粉塵工藝中的排氣（Si單晶爐等）

◆ 作為前級泵使用（渦輪式分子泵、機械羅茨泵的前級泵）

◆ 冷凍干燥等水蒸氣排氣

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